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Herstellung von dünnen Schichten

Spin-Coater - Laurell-WS-400B-6NPP-LITE

  • zu beschichtenden Objekte max. Ø 150 mm, max. 102x102 mm²
  • max. 10.000 U/min (Standard-Wafer  100 mm)
  • Prozess-Controller mit 20 Speicherplätzen für Zyklen mit bis zu 51 Schritten
  • Beschleunigung und Abbremsung für jeden Schritt programmierbar

Dip-Coater - Prototyp

  • Wegsteuerbare Zyklen (Systec Driveset M108)
  • Geschwindigkeit bis 0,4 m/s
  • Präsizionsklasse: 0,1 mm
  • Proben bis ca. 50x50 mm²

Klimaschrank - BINDER KBF 240a

  • Innenvolumen 240 l, 800x600x500 mm³ (BxHxT)
  • Temperaturbereich ohne Feuchte -10ºC bis +100ºC
  • Temperaturbereich mit Feuchte +10ºC bis +90ºC
  • Feuchtebereich von 10% r.H. (>40ºC) bis 90% r.H. (<70ºC)
  • Programmbetrieb für bis zu 25 Temperatur- und Feuchtezyklen mit jeweils bis zu 100 Programmschritten

Vakuum Wärmeschrank - Shel Lab SVAC 1-2

  • Innenvolumen: 16 l, 450x580x600 mm³ (BxHxT)
  • Temperaturbereich: 10°C über Raumtemperatur bis +220ºC
  • Aufheizzeit: 90 Minuten bis 150°C
  • Vakuumbereich: -3 bis - 76 cmHg
SpinCoater

Spin-Coater

DipCoater

Dip-Coater

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